需求 #2608: 20240630的好达机器需求
由 钱忠祥 在 12 个月 之前添加. 更新于 11 个月 之前.
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描述
发机前验证2D图形晶圆倍率 4寸 6寸 备注2X 62 44 明场+暗场两次扫描3.5X 45 30 明场+暗场两次扫描3.5X 91 60 一次扫描5X 72 45 一次扫描
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