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功能 #2669

已关闭

需求 #2608: 20240630的好达机器需求

验证UPH

由 钱忠祥 在 12 个月 之前添加. 更新于 11 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
郭笑
类别:
-
目标版本:
4.3.6
开始日期:
2024-06-07
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

发机前验证
2D图形晶圆
倍率 4寸 6寸 备注
2X 62 44 明场+暗场两次扫描
3.5X 45 30 明场+暗场两次扫描
3.5X 91 60 一次扫描
5X 72 45 一次扫描

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 #1

由 郭笑 更新于 11 个月 之前

  • 状态 从 新建 变更为 已关闭
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