3.VIS 4

1.执行拟合形貌时，使用的Z轴坐标是采集的Mark点的坐标。
如果Mark点的坐标不是清晰的位置，那么后续执行的其他点位可能也无法获得正确清晰的位置。
231机台例子：
5X镜头，拟合步数10，拟合步长20um。
也就是以Mark点为基准，上下0.1mm之内。

2.考虑是否使用对准后的坐标。
需要考虑对准使用主动聚焦的情况，该条件下使用的不是大Z坐标。