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9.EFEM(设备前端模块)
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9.EFEM(设备前端模块)
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功能 #2625
已关闭
EFEM wafer index 可以设置起始值,SVC端
由
钱忠祥
在
大约一年
之前添加. 更新于
大约一年
之前.
状态:
已关闭
优先级:
高
指派给:
郭笑
目标版本:
1.2
开始日期:
2024-05-31
计划完成日期:
% 完成:
0%
预期时间:
16.00 小时
机台点位
:
全局
描述
需求见父任务
可以生产界面添加,每次启动清空为0
历史记录
说明
更改属性
行为
复制链接
#1
由
钱忠祥
更新于
大约一年
之前
目标版本
被设置为
1.2
行为
复制链接
#2
由
钱忠祥
更新于
大约一年
之前
状态
从
新建
变更为
进行中
行为
复制链接
#3
由
钱忠祥
更新于
大约一年
之前
状态
从
进行中
变更为
已解决
不能单独部署
与 “软件需求
#2540
: EFEM 生产,debug,转运等相关更新” 一起部署测试
行为
复制链接
#4
由
钱忠祥
更新于
大约一年
之前
指派给
从
钱忠祥
变更为
郭笑
行为
复制链接
#5
由
钱忠祥
更新于
大约一年
之前
父任务
从
#2608
变更为
#2540
行为
复制链接
#6
由
郭笑
更新于
大约一年
之前
父任务
已删除 (
#2540
)
行为
复制链接
#7
由
郭笑
更新于
大约一年
之前
状态
从
已解决
变更为
已关闭
行为
复制链接
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