行为
功能 #2126
已关闭EFEM:map扫描后,异常基片显示基片状态
描述
异常状态显示为:
有斜片 Obliging
超厚 OverThickness
过薄 LowerThickness
未知 Unknown
已部署到志和和好达机台。
行为
描述
异常状态显示为:
有斜片 Obliging
超厚 OverThickness
过薄 LowerThickness
未知 Unknown
已部署到志和和好达机台。