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功能 #1995

已关闭

MSG相关:使用MSG时拟合聚焦ATF方式不可用

唐飞超过一年 之前添加. 更新于 10 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
指派给:
类别:
-
目标版本:
开始日期:
2023-12-13
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
1.00 小时
机台点位:
全局

描述

MSG控制小Z,拟合聚焦中ATF方式获取的为大Z。

拟合聚焦步骤中,Z轴清晰度计算方式包含:ATF和图像清晰度。

ATF方式:移动至拟合聚焦点位,执行ATF聚焦,在ATF.InFocus 时Z轴作为聚焦点位的Z轴高度;
此方案针对 自研 的ATF,直接控制的是大Z;
对于 MSG 聚焦,分为大Z和小Z,MSG.InFocus时,仅记录大Z坐标不够,需要算上小Z,但是小Z不够精确;

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