错误 #1333: EFEM模块中，LoadPort的Using状态不正确 - 3.VIS 4 - BTS (问题跟踪系统)

行为

错误 #1333

已关闭

EFEM模块中，LoadPort的Using状态不正确

由蒋毅在大约 2 年之前添加. 更新于超过一年之前.

状态:

已关闭

优先级:

普通

指派给:

类别:

-

目标版本:

开始日期:

2023-04-14

计划完成日期:

% 完成:

0%

预期时间:

机台点位:

全局

描述

LoadPort在EFEM模块Reset后，Using指示灯没有重置。

行为

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