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无锡好达Tornado2000M 自动上下片,机械手、寻边器、静电消除器、理片、独立环形光;Wafer类型:4寸、6寸、8寸晶圆;物镜:3.5X、5X、10X;
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管理: 张彦鹏
开发工程师: 张端彬, 徐特, 钱忠祥, 陆涛
测试工程师: 张鹏康, 郭笑
项目经理: 刘岩