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中电10所Tornado2000,手动上下片,无机械手、寻边器、静电消除器;小Z、MSG预留;晶圆:6寸、8寸;陶瓷管壳:包含4mm×4mm~50mm×50mm范围陶瓷管壳。
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管理: 张彦鹏
开发工程师: 张端彬, 徐特, 钱忠祥, 陆涛
测试工程师: 张鹏康
项目经理: 刘岩