3.VIS 4

错误 #5480

由 郭笑 更新于 3 个月 之前

标定好线面偏移 
 1、NG检测缺陷定位问题 
 2、DB检测，GDS图与Mask图偏移问题 

 *1.设置线面偏移* 
 !clipboard-202507300918-y43mm.png! 

 *2.NG缺陷图* 
 !clipboard-202507300919-u9g8x.png! 

 *3.NG缺陷定位* 
 !clipboard-202507300920-1rglu.png! 

 *4.线阵扫图* 
 !clipboard-202507300922-s75gb.png! 

 5.DB检测，GDS图和mask图的偏移 
 !clipboard-202507300935-qxmze.png! 

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