4. 维护

夹具不稳定，长时间使用后，掩膜版平整度会发生较大变化（夹具调好平整度到5μm以内，使用一定时间后，会变化到十几甚至二十几微米）导致扫图出现区域性的随机虚焦问题，需要结构定位问题点，并改进。