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错误 #6329

已关闭

SMIF无法正常关盒

由 蒋志平 在 4 天 之前添加. 更新于 3 天 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
蒋志平
开始日期:
2025-10-12
计划完成日期:
% 完成:

10%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

尝试过重启断电等方案后还是如此

行为
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 #1

由 俞晨羲 更新于 3 天 之前

  • 状态 从 新建 变更为 进行中
  • 指派给 从 俞晨羲 变更为 蒋毅
  • % 完成 从 0 变更为 10

在调试EFEM时候，SMIF一开始可以正常开关盒，在机械手震动导致掉使能后，SMIF无法再正常关盒。请帮忙分析下原因，具体事项联系蒋志平。

行为
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 #2

由 蒋毅 更新于 3 天 之前

  • 指派给 从 蒋毅 变更为 蒋志平

请排查电气Interlock信号

行为
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 #3

由 蒋志平 更新于 3 天 之前

  • 状态 从 进行中 变更为 已关闭

机械手打开屏蔽就可以正常关盒

行为
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