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需求 #3911

已关闭

三叠纪新增检测光刻后片子需求

由 张向彬 在 5 个月 之前添加. 更新于 27 天 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
张鹏康
开始日期:
2025-02-25
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
广东三叠纪

描述

检测需求：
1，晶圆片子图形区域单边偏移小于等于3um（单边小于等于1.5um）
2，后续需要检测片子有无短路
目前有两种片子，单面镀铜和双面镀铜

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