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需求 #2575

已关闭

26所需要扫描晶圆ID

张鹏康大约一年 之前添加. 更新于 11 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
指派给:
开始日期:
2024-07-15
计划完成日期:
% 完成:

100%

预期时间:
(合计: 24.00 小时)
耗时:
(合计: 4.00 小时)
机台点位:
全局

描述

26所需要扫描晶圆ID,晶圆背面为二维码,图片如下:


文件


子任务 1 (0 打开1 已关闭)

9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2818: 新的IDScaner 部件开发已关闭周玉鹏2024-07-15

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