# 4.3.6 2024-05-30 平台控制和拟合聚焦升级 * 错误 #1850: 检测完成后,日志报错 * 错误 #2077: roi算法软件 经常进程丢失 * 错误 #2241: 威码视读码器给出报错信息,动作继续执行(让客户指定扫码报错后的上篇动作) * 功能 #2386: 主动聚焦插件增加获取轴坐标接口 * 错误 #2396: 生产检测,点击stop,检测状态显示不对 * 设计 #2408: 被动聚焦和拟合聚焦升级 * 错误 #2413: VIS 4.3.6 数据库保存缺陷结果改动 * 错误 #2445: 3d相关问题 * 功能 #2446: VIS4.3.6 面阵相机插件升级 * 功能 #2447: VIS4.3.6 FitZImageProvider开发 * 设计 #2448: 增加主动聚焦停止小Z不回零逻辑 * 功能 #2451: 4.3.6:拟合聚焦参数、界面开发 * 功能 #2477: 4.3.6:Setup和Recipe数据升级功能 * 功能 #2511: 主动聚焦停止小Z不回零,MSG插件修改 * 功能 #2512: 主动聚焦停止小Z不回零,界面增加回零按钮及小Z坐标显示 * 功能 #2514: 主动聚焦停止小Z不回零,涉及程式及检测修改 * 错误 #2521: 4.3.4合并,程式测量报错 * 功能 #2595: ACS 添加Homing功能 * 功能 #2604: 夹具界面添加一键清空 * 需求 #2608: 20240630的好达机器需求 * 错误 #2611: 3D检测,按DIE写入检测结果文件改为一次检测任务写入一个文件 * 错误 #2614: 检测完成后,查看Web报表,Yield显示优化(建议显示百分比) * 错误 #2616: DG用高倍镜头20X检测,检测完成后查看Web报表,报表详情页Golden图,缺陷图、比较图加载比较慢(大概需要5-6s才能加载出来) * 错误 #2619: 4.3:3D镜头偏移问题 * 错误 #2634: 3d recipe里面存图逻辑是ok,检测报错 * 错误 #2652: VIS启动检测时报错:集合在枚举实例化后进行了修改,之后再次启动检测,可正常执行 * 错误 #2666: VIS4.3.6 拟合功能错误 * 错误 #2668: Recipe - 算法设置:修改图层框选区域后,修改图层名称,闪退频率很高 * 功能 #2669: 验证UPH * 功能 #2670: 好达:两个Die2Golden 检测类型 * 功能 #2687: 将图像增强功能使用C#方式加回来 * 功能 #2688: 检查日志 * 错误 #2697: 4.3.6:硬触发模式拟合聚焦,点击执行的时候,小z没有回零 * 需求 #2698: 对准选择主动聚焦,拟合形貌执行需要小Z回零, 控制面板 主动聚焦打开,执行被动聚焦,页面聚焦按钮需要呈现什么状态,小Z是否回零 * 错误 #2701: 未打开MSG_ui 界面,启动软件,退出软件没有将msgui进程结束 * 错误 #2704: 4.3.6:有些机台没有MSG(志禾),选择不聚焦,执行中会关闭主动聚焦,报错 * 错误 #2709: 3d检测结果导出热力图文件失败 * 错误 #2710: 某些固定名称不能用作算法层名称,保存时提示:"XXXX不能用作算法层名称保存" * 版本合并 #2716: 4.3.6 合并 * 功能 #2718: 拉取“4.3.6测试”分支 * 错误 #2720: 聚焦方式不聚焦,启动检测报和主动聚焦有关的提示 * 错误 #2722: VIS4.3.6 Map参数-保存-检验文件名掩码 * 错误 #2724: 创建晶圆结构 - 在晶圆结构map图上查看同一Y轴上带有十字的die,部分die定位和实际位置有偏差 * 错误 #2725: DB类型,采集Mark后黄色小圆点标记的位置不对 * 错误 #2729: 拟合聚焦的状态一直在转圈 * 错误 #2730: 拟合聚焦没有采集mark,启动检测报异常 * 错误 #2731: 233机台 - 点控制面板的移出按钮,平台不动,相机Z轴坐标动 * 错误 #2732: 从低版本分支上复制的job,在高版本分支上打开,创建的晶圆结构图缺失,golden图也需要重新采集 * 错误 #2733: 拟合聚焦选择硬件触发,执行的过程中点击“停止”后没有停止动作,还在继续执行,详情见描述 * 错误 #2734: 3D,检测完成报表里面【显示图片】不能查看缺陷图 * 错误 #2735: 232机台 - 埃科面阵相机,在10X物镜下会出现闪烁黑边情况 * 错误 #2736: 前道检测,没有处理进度,任务就结束了 * 错误 #2738: 数据准备创建,有时开始时间未生成 * 功能 #2742: VIS4版本中,本工序良率功能丢失 * 错误 #2743: 打开VIS登录页面,会有弹窗闪现 * 错误 #2745: 无图形—报表【显示图片】不能显示图片 * 错误 #2746: map文件名掩膜设置合法的,校验提示非法 * 错误 #2748: 缺陷确认控制面板,选择【图像增强】,应该只增强缺陷图,目前golden图也被增强了 * 错误 #2750: 不扫图,直接点【划线】报异常 * 支持 #2751: 重启VIS,VIS登录窗口未置于顶层 * 功能 #2752: 合并4.3.6 合并到4.3 * 错误 #2753: 删除第一个mark,下面的序列号会出现有重复的现象 * 错误 #2754: VIS4.3.6安装包版本登录页面提示:数据库版本和软件版本不一致,请检查 * 错误 #2762: 【创建晶圆结构】 - 未扫图框ROI,点击创建晶圆结构,VIS程序直接卡死 * 错误 #2763: 旋平台设备,旋正设置角度计算出来是反的,导致创建晶圆结构扫出来的图是斜的 * 错误 #2767: 【创建晶圆结构】 - 特征图下显示的使用光源亮度值与实际采集时设置的值不一致 * 错误 #2770: 3d扫到边缘,边缘测量的值异常,生成的热力图不能用颜色显示 * 错误 #2775: V4.3.6 登录页面StandardACS00 插件初始化失败 * 错误 #2776: V4.3.6 点击菜单栏【数据服务按钮】- 报错提示:未找到路径:D:\\VPTECKCONFIG\ClearServiceSetting.json的一部分 * 错误 #2780: 3d检测镜头与对准镜头不一致时,扫的图有偏移,缺少镜头要一致的提示 * 功能 #2782: ZipData、VPClearService、 ROIEditor工具放在通过环境变量设定为D盘的VPTEKSOFTWARE目录下 * 错误 #2789: 【数据迁移】 - 迁移的数据没有放到ZippedData文件夹下 * 错误 #2812: 系统设置内设置各个镜头的亮度和曝光,切换镜头时未能自动调整 * 功能 #2820: VIS、CalcUnit打包需要包括最新的Core * 错误 #2822: 根据圆中心 die尺寸,角度 扫描结构,生成晶圆结构不全 右边缺少一点 * 错误 #2834: recipe 创建名称有空格,缺陷结果对比文件,找不到缺陷路径 * 错误 #2838: EFEM - 生产检测过程中,LP盒中的第一个基片良率阈值过低,终止检测,任务状态为InspectFail,剩余基片只执行了上下片动作并未执行检测任务,任务状态显示为success不对 * 错误 #2844: 3D检测,轴限位软件界面没有抛出异常(vis4.3.6.6655) * 支持 #2845: 技物所机台协助安装软件 * 支持 #2847: 3D检测时间优化(目前扫描4寸片子需要4分钟,62个条带,扫描一个条带大概2s,等待间隔扫描另一条带也需要2s) * 错误 #2852: roi编辑软件,添加一键删除roi 确认提示框 防止误删除 * 功能 #2859: VIS检测中的异常停止逻辑修改 * 错误 #2862: 新机台安装 计算单元缺少dll依赖项 * 错误 #2869: EFEM - 生产检测stop,正在检测中的基片停止扫描后,基片的检测任务状态还是处于检测中,扫描时长也在累加 * 错误 #2870: EFEM-Recipe参数中,隐藏取放片失败情况下不必要的选项 * 错误 #2872: 3D生成的roi,不好拖拉,拉一个角后小方块会变得很小 * 功能 #2876: 线阵插件中删掉的部分参数加回来 * 功能 #2882: 合并EFEM 1.2 的VIS修改内容到 4.3 * 错误 #2883: 插件设置中,去掉暗场光源后,重新采集mark,光源信息还显示有暗场的光源 * 错误 #2884: VIS软件调试页面,设置setlog:100,启动检测,core存图失败,导致程序闪退 * 错误 #2887: 添加测量点位,报错 * 错误 #2910: web报表,翻页功能,点几下就加载任务了 * 错误 #2918: 关闭光源,立刻切换镜头时会设置光源,设置失败 * 功能 #2921: 【过滤Bad Die】 - 过滤掉上道工序的bad die后,导出的map文件内容显示问题(待讨论) * 错误 #2923: 生产检测结束,VIS查看历史检测结果,点击一条历史检测记录后,左下侧map图中的检测结果信息被清空了 * 错误 #2926: 【过滤Bad Die】 - 在检测过程中,会出现过滤的bad die被覆盖情况 * 错误 #2928: 【CD测量】算法设置页面闪退,导致再次点击算法设置,提示:ROIEditor未启动(偶现) * 错误 #2929: 检测亮度参数不变,检测区域,框选或大或小 ,会影响检测亮度,框选区域越小,亮度越亮 * 错误 #2934: cd检测界面,【图像增强】功能无效 * 功能 #2936: VIS相机控件CPU占用高优化 * 功能 #2937: 4.3:VIS相机控件增加控制显示帧率的功能,区别于采集帧率 * 错误 #2944: 【亮度计算工具】y轴画的反向反了 * 需求 #2946: Die2Golden检测模式AI检测新增接口 * 错误 #2952: 优化:单片检测,SlotNo默认是2,建议改成1 * 错误 #2955: CalAgent默认安装路径优化,根据VPTEK_SOFTWARE变量设定的目录调整 * 错误 #2965: 修改算法图层名字,算法界面闪退 * 错误 #2974: CD不支持生产检测 * 错误 #2985: 无图形检测没缺陷的区域没有画底色,单独检测该区域不能正常结束(版本6890) * 错误 #2987: CD程式:选择加载历史数据后点击【清空】,历史数据也会清空。再次启动程式,历史数据会重新加载出来 * 错误 #2989: 【拟合形貌】- 手动设置聚焦Die,聚焦die可以选择map结构以外的位置 * 错误 #2992: 233机台,lot良率报错 * 错误 #2994: VIS算法设置 - 图层出现无法编辑的问题(非底图) * 设计 #3018: map文件导出设置 * 需求 #3022: 上海技物所-缺陷大小分组显示功能需求 * 功能 #3029: 根据参数生成缺陷分布图 * 功能 #3030: SPC 添加缺陷分布图显示和下载,缺陷分类功能升级 * 错误 #3031: 全讯MAP类型检测 map不存在,设置参数不生效 * 错误 #3032: 【良率设置】参数对3D不生效 * 错误 #3033: 生产检测报错 * 功能 #3038: 上海技物所第一台机器软件升级验证 * 错误 #3039: 【缺陷分类布局】- B/S上和C/S上相同缺陷分类统计的缺陷数量不一致 * 错误 #3041: 删除系统设置中的缺陷模板,重启软件后,打开程式报错 * 需求 #3054: cd检测完成后加减速发生改变,加速度、减速度是速度的30倍,刹车速度是速度的300倍,对于高倍镜双击map图定位操作,图像会有抖动的现象 * 错误 #3063: SID扫描信息,检测任务列表wafter id没有同步 * 功能 #3078: 验证低的加减速是否影响正常做程式 * 需求 #3088: map文件导出设置升级 * 功能 #3101: 非检测中,速度和加减速等使用定位模式 * 功能 #3133: 文件导出设置 升级 * 错误 #3162: 【Map导出】- 导出的map图不清晰,需优化 * 功能 #3199: 在web报表那边的缺陷分类后面,加上具体的参数。 * 功能 #3217: 三叠纪需求-VIS软件升级 * 功能 #3256: VIS_4.3消息功能代码合并 * 错误 #3259: 【VIS软件安装】 - 覆盖安装时 .license通行证需保留 * 错误 #3260: V4.3.6.7525消息推送问题 * 错误 #3261: recipe中切换选择3倍镜后,每次采集Golden图日志输出都会提示一次切换信息 * 错误 #3263: 多个recipe的时候,第一个recipe异常结束后,日志会输出多个“所有Task检测流程结束” * 错误 #3269: 消息日志优化 * 错误 #3275: 【系统设置】——【消息接口】:配置输入框后面的提示信息显示不正确,如果没有提示可以将后面的提示图标去掉 * 错误 #3284: 每次登录VIS之前加载镜头插件的时候,消息推送窗口就会推送消息“Switch lens 5X” * 错误 #3289: VIS4.3.6、VIS4.3.7安装包,运动平台ACS配置文件(StandardACSSetting.exe)不是最新的 * 错误 #3323: 长飞机台装环境 * 错误 #3363: 在晶圆结构页面,先单击选中一个die,然后双击这个die进入面阵相机查看die详情,再返回晶圆结构页面,选中的die变成(0,0) * 错误 #3364: 【ROIEditor】VIS4.3.6-配准算法中显示两个NCCRegistration算法 * 错误 #3370: recipe参数设置中,检测光路的选项显示不全且错误信息不会即时提示 * 错误 #3376: 消息推送-推送的PR类消息中所有首字母都大写 * 错误 #3378: 选中一个ROI区域后,键盘按delete键删除不了 * 错误 #3380: 选中一个job,点击更新Job按钮,跳出的页面标题为“Create Job”,且鼠标放在更新Job按钮上,出现的悬浮字是“创建” * 错误 #3381: 消息推送-通过复制创建了Job、setup和recipe,但消息推送窗口只输出创建job的消息 * 错误 #3387: 【ROIEditor】Die to golden类型的程式算法设置页面,先在NCC配准算法的图层框选ROI,手动保存,然后给颗粒划痕的图层框选ROI,手动保存,返回NCC配准算法的图层页面,之前保存的ROI显示异常 * 错误 #3395: 【ROIEditor】重命名已配置算法的图层,不修改名字直接点击confirm按钮进行保存,提示信息中current拼写错误 * 错误 #3396: 【ROIEditor】点击X按钮关闭RoiEditor窗口的提示信息不正确 * 功能 #3865: SPC1.1以及客户端报表导出添加Substrate ID * 功能 #3998: 将条带图拼接为完整的晶圆图案 * 功能 #4072: 4.3.6版本固定 条带合并为晶圆功能合入 * 错误 #4076: VIS_4.3.6.9123安装包数据库脚本丢失 * 错误 #4129: VIS_4.3.6.9123对应的计算单元无法打包(3D的计算单元编译不过) * 错误 #4130: 如果检测区域不是整片晶圆,条带拼接会错位 * 错误 #4187: 条带拼接需要考虑重叠区域的大小 * 功能 #4188: 在晶圆结构上添加M标记设定