# 4.2.1 新增 CD和套刻测量，夹具模块功能 * 功能 #334: 镜头切换插件改造 * 错误 #629: 因算法层未框选区域或漏加算法参数，在缺陷检测的时候，打开该程式，开始检测直接导致程序闪退；建议做优化处理， 比如添加了算法未划选区域，给出必填项提示，这样尽量减少程序缺少参数，导致崩溃闪退现象，用户觉得这样很不友好。 涉及算法建议能提供文档，用于日常系统维护测试。 * 错误 #913: tornado4.1软件问题 * 错误 #1241: 算法编辑软件，遇到前道采的golden比较大，多的情况，点击功能菜单，返回响应慢，这时再点击其他功能按钮，回导致算法编辑软件程序崩溃。需要添加保护措施，在请求没有返回响应结果，不允许点击其它按钮 * 错误 #1242: vis 框架 切换相机MAP图页面，有时会发现缺少菜单栏 偶发现象 * 功能 #1244: 需要增加复制set up 功能 * 错误 #1245: 前道采完图 没有任何提示 * 错误 #1246: DB缺陷分类的时候报错 * 错误 #1247: 图片定位输入框，值为空时，提示红字“未能转换值” * 错误 #1248: 数据准备，筛选日期进行查询，筛选的结果与筛选日期不符 * 错误 #1249: 对准页面提示改为中文 * 错误 #1250: 前道采图旋转r轴 值计算了标定后的夹角，没有算上对准后得角度值 * 错误 #1251: golden 还没采集 点击返回，提示采集golden所用倍镜与对准不一致 * 错误 #1252: 光源亮度测试，根据实际相机参数不支持得台阶数 做出提示 * 错误 #1253: 点击算法之前，判断有没有框选golden 并作出提示 * 错误 #1254: 系统设置 部分单位参数加上 * 错误 #1255: 去掉限制 检测倍镜不一致不能检测问题，仅作出提示 * 功能 #1256: 拟合点 支持map点击生成拟合点，再次点击取消拟合点功能 并删除【删除聚焦die按钮】 * 错误 #1257: 切换页面 提前选中map 采golden点，回到采golden 页面 提示需要重新选择点位 * 错误 #1258: 单位名称改成度 * 错误 #1259: roi编辑软件 光标移动算法设置值位置，左边点击roi层 delete删除不能用 * 错误 #1260: 打开菜单栏上的“相机”，展开子菜单，点关闭后，缩回菜单，菜单框还显示在视口，且关闭没效果 * 错误 #1261: 魔术棒使用框选得ROI 区域 框选涉及到复杂区域（不是矩形），不易删除 * 错误 #1262: cd多次测量完成后，报数错误 * 错误 #1263: 新建CD的job，打开还显示上一次的检测信息 * 错误 #1264: CD测量失败，打开算法软件，发现参数丢失 * 支持 #1265: CD测量，点“增加到检测Die”后，建议跳出map图 * 错误 #1266: 晶片不在位，检测勾选了点位 建议不要进行检测流程 * 错误 #1267: 选中卡槽1，不点确定 ，关闭窗口 ，不要执行检测操作 * 错误 #1268: 检测流程开始后，点击停止按钮，需要等到对准流程结束后，才能停止，建议线程立即停止 * 错误 #1271: 输出信息显示“开始检测”，运动平台其实是静止的（偶发现象） * 错误 #1272: ATF主动聚焦测试片子，有时软件会卡在那，现象是由于ATF一直在聚焦状态，导致ACS Z轴报错 * 错误 #1273: 索尔斯设备检测，过了一夜，参考点 对准点发生偏移，再次导致对准失败（问题待观察） * 错误 #1274: wafer_id重复，报表那里只能打开一条数据信息 * 功能 #1278: 用户手册 位置修改 * 错误 #1279: PDF 导出一些问题 * 功能 #1280: 旋正添加第二种计算方案 * 功能 #1281: 测量模块修改 * 错误 #1283: 系统设置 晶圆检测与DB检测两种模式，面阵与线阵偏移，不能共用 * 错误 #1286: 行列选择1，2 位置显示nan * 错误 #1287: 手动采集 不框选，建议增加提示语 * 错误 #1288: 不选择mark点 选择了拟合点 出现该提示 * 错误 #1289: 修改了mak点 没做拟合动作，查看上一次拟合结果 序号显示-1 * 错误 #1290: 自动生成逻辑变更 需要清空mark点再根据行列生成 * 错误 #1291: 拟合点设置聚焦偏移，不生效 * 错误 #1292: 图层名称一样，点击保存，提示图层名称不能相同，修改后再保存 程序崩溃 * 错误 #1293: 手动移动位置，点击手动生成 提示语优化 * 错误 #1295: 行列数不合理，优先提示，如果行列填写合理，然后再提示未框选ROI * 错误 #1296: 手动mark,需要先清除自动生成的点位mark和信息 * 错误 #1297: 选择拟合聚焦ATF 方式 会有聚焦失败的情况，程序是根据ATF infocus状态进行判断 需要排查ATF infocus状态，是什么原因导致失败 * 错误 #1298: 聚焦偏移 z轴 控制面板往上应该显示+ * 错误 #1299: 框选roi 建议将菜单按钮释放 * 支持 #1300: 数据版本不一致解决方法 * 错误 #1302: 采集mark,已经选好DB文件，提示请选择DB文件，提示语不对 * 功能 #1303: ecipes这个页面 点击检测或重现打开job 能让它自己保存 并执行下面的动作 * 功能 #1304: 导入GDS文件 map图 会提示晶圆结构需要重置 * 功能 #1305: DB模式，选中拟合die清除拟合die需要添加状态 * 功能 #1306: 新增更新JOB功能 * 功能 #1307: 1.只显示测量折线图，不显示详情结果 2.右边测量结果新增一栏测量结果 * 错误 #1308: 报表——生成报告中的map图显示不正确 * 功能 #1320: 镜头限位 * 功能 #1321: 切换物镜后聚焦 * 功能 #1329: cd功能升级 * 错误 #1333: EFEM模块中，LoadPort的Using状态不正确 * 错误 #1389: 计算单元服务重启，软件需要重新扫描片子 * 功能 #1390: 套刻测量自动化 * 功能 #1394: cd 导出功能 * 错误 #1403: 索尔思，检测多个槽位，晶圆结构双击移动，平台位置错误 * 错误 #1404: 索尔思，套刻偏移点录入坐标过大 * 功能 #1406: 自动曝光功能 * 功能 #1407: 图片清理功能 * 支持 #1412: GoodDie 图片 * 功能 #1418: good die功能 * 功能 #1419: 多recipe 的Job 检测 * 功能 #1420: CD 小map图显示进度功能 * 功能 #1423: 检测流程的异常处理逻辑修改 * 功能 #1425: MSG聚焦插件 UI * 错误 #1427: 在采golden页面 有时点击晶圆结构中的die采集图 提示 没选中die ，切换页面后选中die可正常采集 * 功能 #1428: CD 测量Index 改进 * 功能 #1429: 插件管理功能改造 * 功能 #1430: 相机关闭，页面需提示相机已关闭，去掉之前相机最后缓存的一张图像，相机视口显示黑色背景，移动平台 ，相机视口上方平台坐标需要同步 * 错误 #1432: 远程cd机台，卡顿，关闭远程，重新连接后，有弹窗报错提示，窗口不能关闭，任务管理器中关闭vis程序，报错提示跟着关闭 * 错误 #1439: cd点击中止整片测量时，输出窗口报错 * 错误 #1442: db缺陷分类时报错 * 错误 #1443: 索尔思CD测试结果显示问题 * 错误 #1445: 切换前后道导致分割Golden图文件夹删除后检测缺陷图不显示 * 错误 #1446: 未采集golden检测 提示语修改 * 错误 #1453: 新版本中，以前的JOB中的参考点和对准坐标都为空了 * 错误 #1460: 点击“框选golden”,不框会报错 * 错误 #1469: R轴限位，ACS重新启动后， 重启软件，移动z轴，x,y，z三轴数值皆跟着改变 * 功能 #1505: Plugins.AutoFocus.MSG * 错误 #1510: DB检测光源亮度测试 ，光源亮度设置值不生效 版本 Vs4204 * 错误 #1516: 版本4297，镜头切换工具，使用后补偿参数在日志里面没显示，系统设置也没保存 * 错误 #1518: DB模式 不关闭软件，隔天检测数据会显示在昨天表当中，导致当天不显示检测结果 * 错误 #1521: 更改DB条带传输逻辑 * 需求 #1528: 埃科光电面阵相机开发 * 错误 #1529: NewMeasure分支-历史记录未显示 * 需求 #1530: 新的结果界面 * 功能 #1532: DB检测-移植3Mark对准逻辑 * 需求 #1536: 26所-3D-结果界面开发 * 需求 #1539: 结果界面改造3D * 功能 #1555: Storm 报表中心优化 * 功能 #1556: 231机台熟悉2D扫描业务逻辑 * 错误 #1571: web报表：更换图片时，图片大小不刷新 * 错误 #1572: web报表：更换缺陷类型时，缺陷数据不刷新 * 错误 #1573: web报表：linsence标识需要去除 * 错误 #1574: web报表：缺陷图加上图片标识 * 错误 #1576: 版本4464，检测类型为cd，在根据die定位添加时有时报错 * 功能 #1594: 把缺陷3D图表显示功能加入到26所项目中 * 功能 #1632: 3D扫描数据按条带号保存到系统指定目录下 * 功能 #1637: 按照缺陷Die的行列和在缺陷图中的位置找到对应条带数据的范围数据。 * 错误 #1646: 版本4487，db光源亮度测试时，光源亮度设置有值，光源却没打开 * 错误 #1648: 4478版本，db在检测页面确认缺陷类型后，在报表模块中无法生成报告 * 错误 #1650: db模板重命名的窗口，点击“关闭”，提示语不对 * 功能 #1653: VIS-优化控制面板界面显示 * 功能 #1656: 线阵扫描，删除 行列 参数 * 功能 #1657: 索尔思分支-多结果excel导出升级 * 错误 #1659: VIS-DB模式报表-自定义缺陷类型数据表格不一致 * 功能 #1661: 计算单元添加3D原始数据检测功能 * 功能 #1663: CalcAgent小工具功能优化 * 功能 #1674: CD分支-结果界面-套刻测量相关功能升级 * 功能 #1675: 新增3D传感器插件，不再继承线性相机接口，可以直接传递原始double数组数据。 * 功能 #1676: CD分支-报表升级 * 错误 #1680: 套刻一个点位测量失败，检测完成后页面停在运动平台界面，不能切换图片。 * 错误 #1682: 连续点击夹紧释放，释放，PLC没有把检测状态更改为“1” * 功能 #1692: 在3D计算单元中测试相关功能。测试任务信息，测试加载虚拟3D数据，测试调用高度算法，讨论加入缺陷数据。 * 功能 #1701: 26所-3D-计算单元开发 * 支持 #1702: 26所机台，环境部署 * 错误 #1703: 新建程式，重置MAP后选择参考die 无法设置 * 功能 #1710: 系统设置3D设置里面加入光路选择 * 功能 #1711: Recipe采图切换光路扫描，缺陷扫描的时候切换光路，相关动作完成后,Z轴归零。 * 功能 #1712: 高度过滤参数设置在config里面，插件里面加入过滤数据功能后再生成图片。 * 需求 #1736: 三叠纪检测速度慢 * 错误 #1763: 旋转平台模式下，平台的旋转中心的问题 * 功能 #1766: VIS-解除软件曝光时间限制 * 功能 #1767: Picasso里面加入3D相关的参数，便于ROIEditor和计算单元调用 * 功能 #1795: Simple CV 生成图片 * 错误 #1796: MSG主动聚焦检测片子会发生以下两种情况①从片外扫描到片内，这个过程导致虚焦 ②平台检测速度过快 导致起始条带出现部分清晰部分模糊现象，目前降低平台速度可解决此现象（需要讨论解决方案） * 功能 #1804: 3D计算单元中添加保存缺陷所在die的原始数据到文件中。 * 功能 #1809: 3D插件像元大小和镜头里面的像元大小合并到系统设置里面的不使用主光学物镜的设置里面 * 支持 #1826: 26所现场支持 * 支持 #1827: 232流片支持 * 功能 #1830: 插件勾选取消无法保存问题 * 错误 #1832: VIS-系统设置-修改镜头设计倍率无法保存 * 错误 #1833: VIS-打开软件会自启动RoiEditor * 错误 #1834: 数据准备生成缩略图的时候还是有地方用到旧的系统设置参数，所以展会机台生成不出来 * 需求 #1837: 开发先特克面阵相机插件 * 功能 #1859: 26所高度3D高度显示样式调整。 * 功能 #1863: 3D计算单元添加多线程处理。 * 功能 #1866: 框选golden的时候，计算框选和左上角Die的距离。 * 需求 #1872: PDF生成工具 * 功能 #1873: D2D检测功能开发 * 支持 #1874: 索尔斯-面阵相机修改 * 错误 #1881: 三叠纪-DB报表导出错误 * 功能 #1882: 水晶光电Map文件导出功能开发。 * 功能 #1892: 26所Map功能开发。 * 错误 #1895: ChinaVision相机释放资源错误 * 功能 #1901: IRIS-新报表界面开发 * 功能 #1902: IRIS-PDF开发 * 功能 #1903: 26所3D原始数据文件采用二进制读写。 * 功能 #1926: VIS4.3-控制面板新增功能 * 功能 #1929: CD机台面阵相机开发 * 功能 #1941: IRIS-插件管理 * 功能 #1964: 3D检测的显示的灰度图改成伪彩色图片。 * 错误 #1970: Rzge相机问题 * 功能 #1971: 3D缺陷图可以连续查看。 * 功能 #1973: 光源亮度计算工具增加放大、缩小功能 * 功能 #1974: 平台移出坐标和上片坐标分离功能开发 * 功能 #1975: 好达和全讯的Map功能整合到VIS4.3中。 * 错误 #1977: IRIS-VIS后台进程残留 * 功能 #1981: 获取3D数据中最大值的横向和纵向剖面数据。 * 需求 #1990: 测试新的先特克相机 * 功能 #2004: 更新Vinci.Math。模拟数据测试3D高度算法的新增忽略参数 * 功能 #2013: VIS4.3-新增缺陷类型 * 错误 #2014: 报表界面报错后闪退 * 错误 #2015: iris缺陷图片翻页有问题，没有两边同时翻页 * 错误 #2022: 26所/好达机台-报表打开错误 * 错误 #2026: 线阵采图，计算采集起始点时，由于镜头偏移角度过大以及加减速区太小,计算的采集的点位比运动起始位大,导致采图失败 * 功能 #2031: VIS版本4.3.4里面3D伪彩色和剖面功能测试。 * 功能 #2032: Picasso里面3D计算高度算法的新参数设置。 * 需求 #2054: 埃科面阵相机-旋转功能开发 * 错误 #2055: VIS-检测界面速度慢 * 功能 #2056: 计算单元-缺陷数据精确修改 * 功能 #2059: 平移台参数设置工具集成到平移台插件中 * 错误 #2067: 保存不了坐标 * 支持 #2088: 索尔斯：部署高度差测量功能 * 错误 #2089: 索尔斯：高度差多mark测量失败 * 功能 #2114: CD计算单元，套刻测量增加明暗参数 * 错误 #2115: 索尔斯：simpleCV导致的异常 * 需求 #2117: 索尔斯：测量Excel导出格式需求 * 错误 #2147: 索尔斯：未选择参考Die，添加点位时提示异常 * 功能 #2148: CD计算单元，套刻测量增加ThresholdMode参数 * 功能 #2155: 索尔斯：检测前可输入操作员id，检测后导出每次检测的操作员id * 功能 #2156: 索尔斯：控制面板平台移入时，打开真空。移出时，关闭真空 * 错误 #2160: 索尔斯：套刻导出失败数据提示异常。 * 功能 #2201: CD计算单元添加增益阈值参数