错误 #5110
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由 杨巧 在 17 天 之前添加.
更新于 7 天 之前.
描述
1：出现此现象时，R轴旋转值一般是-0.1以下以及0.1以上，如果大于0.3会提示对准失败，但-0.1以及+0.1这种情况对准会提示成功，如果接下去扫，扫到中途会出现假缺陷异常。在基准设置里面用面阵相机去看Fine1/2/3，Fine1/2能对准上，Fine3会偏几十个像素。对比mask图与ORG图，上下左右都存在偏差几十个像素，目前怀疑方向客户放板存在偏差，夹具夹紧时，可能存在未完全夹正，虽然R轴能旋转到位，但旋转角度较大，是否会影响后续跑片出现异常，运动平台在运动过程会存在机械误差，导致旋正的角度越偏越大，从而引起跑片异常。相关内容信息，刘工，施工，徐工已远程查看收集。看后续有好的应对措施。
文件
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杨巧, 2025-07-10 11:30
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杨巧, 2025-07-10 11:38
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杨巧 写到：
1：出现此现象时，R轴旋转值一般是-0.1以下以及0.1以上，如果大于0.3会提示对准失败，但-0.1以及+0.1这种情况对准会提示成功，如果接下去扫，扫到中途会出现假缺陷异常。在基准设置里面用面阵相机去看Fine1/2/3，Fine1/2能对准上，Fine3会偏几十个像素。对比mask图与ORG图，上下左右都存在偏差几十个像素，目前怀疑方向客户放板存在偏差，夹具夹紧时，可能存在未完全夹正，虽然R轴能旋转到位，但旋转角度较大，是否会影响后续跑片出现异常，运动平台在运动过程会存在机械误差，导致旋正的角度越偏越大，从而引起跑片异常。相关内容信息，刘工，施工，徐工已远程查看收集。看后续有好的应对措施。
杨巧 写到：
1：出现此现象时，R轴旋转值一般是-0.1以下以及0.1以上，如果大于0.3会提示对准失败，但-0.1以及+0.1这种情况对准会提示成功，如果接下去扫，扫到中途会出现假缺陷异常。在基准设置里面用面阵相机去看Fine1/2/3，Fine1/2能对准上，Fine3会偏几十个像素。对比mask图与ORG图，上下左右都存在偏差几十个像素，目前怀疑方向客户放板存在偏差，夹具夹紧时，可能存在未完全夹正，虽然R轴能旋转到位，但旋转角度较大，是否会影响后续跑片出现异常，运动平台在运动过程会存在机械误差，导致旋正的角度越偏越大，从而引起跑片异常。相关内容信息，刘工，施工，徐工已远程查看收集。看后续有好的应对措施。
杨巧 写到：
1：出现此现象时，R轴旋转值一般是-0.1以下以及0.1以上，如果大于0.3会提示对准失败，但-0.1以及+0.1这种情况对准会提示成功，如果接下去扫，扫到中途会出现假缺陷异常。在基准设置里面用面阵相机去看Fine1/2/3，Fine1/2能对准上，Fine3会偏几十个像素。对比mask图与ORG图，上下左右都存在偏差几十个像素，目前怀疑方向客户放板存在偏差，夹具夹紧时，可能存在未完全夹正，虽然R轴能旋转到位，但旋转角度较大，是否会影响后续跑片出现异常，运动平台在运动过程会存在机械误差，导致旋正的角度越偏越大，从而引起跑片异常。相关内容信息，刘工，施工，徐工已远程查看收集。看后续有好的应对措施。
杨巧 写到：
1：出现此现象时，R轴旋转值一般是-0.1以下以及0.1以上，如果大于0.3会提示对准失败，但-0.1以及+0.1这种情况对准会提示成功，如果接下去扫，扫到中途会出现假缺陷异常。在基准设置里面用面阵相机去看Fine1/2/3，Fine1/2能对准上，Fine3会偏几十个像素。对比mask图与ORG图，上下左右都存在偏差几十个像素，目前怀疑方向客户放板存在偏差，夹具夹紧时，可能存在未完全夹正，虽然R轴能旋转到位，但旋转角度较大，是否会影响后续跑片出现异常，运动平台在运动过程会存在机械误差，导致旋正的角度越偏越大，从而引起跑片异常。相关内容信息，刘工，施工，徐工已远程查看收集。看后续有好的应对措施。
杨巧 在 #note-3 中写到：
杨巧 写到：
1：出现此现象时，R轴旋转值一般是-0.1以下以及0.1以上，如果大于0.3会提示对准失败，但-0.1以及+0.1这种情况对准会提示成功，如果接下去扫，扫到中途会出现假缺陷异常。在基准设置里面用面阵相机去看Fine1/2/3，Fine1/2能对准上，Fine3会偏几十个像素。对比mask图与ORG图，上下左右都存在偏差几十个像素，目前怀疑方向客户放板存在偏差，夹具夹紧时，可能存在未完全夹正，虽然R轴能旋转到位，但旋转角度较大，是否会影响后续跑片出现异常，运动平台在运动过程会存在机械误差，导致旋正的角度越偏越大，从而引起跑片异常。相关内容信息，刘工，施工，徐工已远程查看收集。看后续有好的应对措施。
1：今日扫到中途异常，上下偏一个像素，接着问题条带扫无异常
如上次沟通，fine1和fine2点对准完成后找不到fine3点位置时提示对准失败，需要调整位置再重新对准
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