行为
错误 #5094
打开龙图EFEM在运行过程中ACS(错误信息提示)会莫名报错,导致无法正常上下片
开始日期:
2025-07-03
计划完成日期:
% 完成:
0%
预期时间:
机台点位:
全局
描述
EFEM在运行过程中ACS(错误信息提示)会莫名报错,导致无法正常上下片(听蒋工说清益迪思都出现过)
文件
行为
0%
描述
EFEM在运行过程中ACS(错误信息提示)会莫名报错,导致无法正常上下片(听蒋工说清益迪思都出现过)
文件