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功能 #4863

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设备运行后一段时间传感器容易发生位移导致上下片过程中停下

蒋志平大约一个月 之前添加. 更新于 22 天 之前.

状态:
新建
优先级:
普通
指派给:
开始日期:
2025-06-17
计划完成日期:
2025-07-13 (7 天 延期)
% 完成:

0%

预期时间:
400.00 小时
机台点位:
全局

描述

传感器调好后上下片运行一段时间传感器容易发生小幅位移,5月20日发生过一次,6月17日再次发生,继续观察


文件

蒋志平 更新于 大约一个月 之前

  • 指派给蒋志平 变更为 刘军

刘军 更新于 22 天 之前

1、搭载传感器支架测试环境,用真空泵的震动为震源;测试环境比设备运行环境恶劣(引入间歇性);
2、实验中间多次观察,传感器接收端激光光斑在接收范围内;
3、传感器支架稳定性OK

行为

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