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错误 #4800

打开

上版完成后夹具夹紧后发现mark点会不断移动,但是ACS坐标没有变化,夹具释放后就不动了,再夹紧后又开始缓慢移动,重新移出移入后正常;

陈晨东大约一个月 之前添加. 更新于 21 天 之前.

状态:
进行中
优先级:
普通
指派给:
开始日期:
2025-06-13
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
临港中芯

描述

情况与宁波睿晶相似

俞晨羲 更新于 大约一个月 之前

  • 状态新建 变更为 进行中
  • 指派给俞晨羲 变更为 刘军

一起看下这个该怎么解决

刘军 更新于 大约一个月 之前

  1. 已和陈晨东交流,取数据和验证猜想;

张威 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 #4902 已添加

张威 更新于 大约一个月 之前

  • 子任务 已删除 (#4902)

刘军 更新于 21 天 之前

1、BTS和相关同事处获得的对准图片分析;
2、验证了夹具上夹紧、预紧、平面度等可能的影响因素,未得到有效结果;
3、后续持续关注,并寻找测试方法;

行为

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