由 张向彬 在 3 个月 之前添加.
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描述
检测需求：1，晶圆片子图形区域单边偏移小于等于3um（单边小于等于1.5um）2，后续需要检测片子有无短路目前有两种片子，单面镀铜和双面镀铜
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